Ako odstrániť Plasma Etch Polymer

Keď chemik alebo elektrikár chce zmeniť chemické a fyzikálne vlastnosti povrchu integrovaného obvodu oplátky, to je známe ako spracovanie plazmy. Jednou z foriem tohto spracovania sa nazýva plazmové leptanie, ktorý používa dútnavkou výboj (známy ako plazma) z určitého plynu. Výstrele uvoľní pulzovanie prúdu vysokou rýchlosťou priamo na vzorke obvode. Zdroj plazmy, známy ako leptanie druhov, môže mať jednu z dvoch charakteristík - nabité, ktoré sú klasifikované ako ióny alebo neutrálne, ktorá sa skladá z atómov a radikálov. Ako etch spracovanie začína, bude vypúšťanie sú vysielané na obvode vytvoriť prchavé etch zvyšok v dôsledku chemickej reakcie medzi leptaného materiálu a etch druhov vytvorené plazmy. Fyzikálne a chemické vlastnosti obvodu nakoniec sa mení, zatiaľ čo atómy z prúdu plazmy pripojiť alebo preniknúť do povrchu. V závislosti na plyn, ktorý sa používa pre prúd plazmy, plazmové leptanie môže polymér tvorí ako zvyšok po spracovaní. To, čo budete potrebovať
Integrované obvody oplátky
Plazmové leptanie polymér remover (PRX-127)
Ťažké ochranné rukavice
rúšku
Ochranné okuliare alebo okuliare
odizolovanie nádrže
deionizovaná (DI) opláchnite vodou nádrž
žmýkačka alebo spin-oplachovanie vlasov
Zobraziť ďalšie inštrukcie
1

Plazmové leptanie polymér bude pravdepodobne vznikla po použití plazmového leptania spracovanie s fluórované založené na plyny ako oxid hydrotrifluoride a octafluoropropane. Tieto plyny vytvárať nenasýtené zlúčeniny v plazme, ktoré sú potom prevedené do integrovaného obvodu doštičiek. Tieto musia byť odstránené, aby na ďalšie spracovanie plazmy pokračovať.
2. Dbajte na zvýšenú opatrnosť okolo nebezpečných chemických látok.

Plasma etch polymér odstraňovač, známy ako PRX-127, je chemická zlúčenina sa skladá z prvkov éteru sulfoxidu a hydroxidu, a je veľmi nebezpečné dýchať alebo kontaktu. Odporúča sa, aby predtým, než sa pokúsite použiť tento výrobok, mali rukavice, okuliare a masky sa nosí. Mokré lavica ponorenie proces je jedným z bezpečných spôsobov, ako zvládnuť túto zlúčeninu, a vyžaduje len veľmi málo fyzickej interakcie.
3

Vyplňte dva skrývkové tanky, ktoré sú navrhnuté špeciálne pre mokré lavičke Proces s PRX-127 a priniesť riešenia, na teplotu 70 až 90 stupňov Celzia. Umiestnite príslušného obvodu doštičky opatrne do jedného z tankov použiť ochranné rukavice. Oblátky by mali zostať v roztoku po dobu najmenej piatich minút, ale nie dlhšie ako 20 minút pre optimálny účinok. Mechanické alebo zvukové na báze miešanie metóda je doporučený počas prvého kúpele.
4

Preneste oblátky z prvej oddestilovaním nádrže do druhej, akonáhle kúpeľ dokončenie cyklu, a namočte doštičiek opäť po dobu piatich do 20 minút bez ďalšieho miešania. Táto druhá kúpeľ sa odstráni existujúce vrstvy polyméru pod zvyšku na povrchu plátku.
5 deionizovaná voda je úplne čistá voda, bez ďalších minerálov.

Odstráňte oblátky z PRX-127 riešení a preniesť na tretiu nádrži naplnené SVC-300 plákanie, čo je riešenie, ktoré sa používa predovšetkým na odstraňovanie laku. Je to celkom bezpečné použitie, pretože je netoxický a nehorľavý a nepoškodzuje doštičiek. Oblátky by mali zostať v tomto roztoku po dobu dvoch až tri minúty. Preneste oblátky na konečné riešenie - deionizovanej vody - vnútri vypláchnuť nádrž na šesť až osem cyklov a potom použiť odstreďovanie sušičku ani točiť oplachovanie vlasov odstrániť všetky stopy riešenia. Oblátky by mali byť úplne bez polymérov, a teraz sú bezpečné opätovne použiť na ďalšie spracovanie plazmy leptané.